电子功能陶瓷材料
微电子工业是世界经济发展的一个热点。我国已将微电子产业列入“十五”的发展重点,电子功能陶瓷是微电子器件的基本材料之一,用途广泛。本年度重点支持:
(1)大规模集成电路用新型封装材料和高频绝缘用新型高性能绝缘陶瓷;
(2)可代替进口的新型微波陶瓷和陶瓷电容器用介电陶瓷与铁电陶瓷;
(3)大规模集成电路用高性能贴片元件专用电子陶瓷原料与制品。
敏感功能陶瓷材料
敏感功能陶瓷在机电一体化用的传感器和微动作执行机构等方面有广泛的应用,我国在这方面有很大的进步,但一些关键的高性能传感器等产品与国外同类产品仍有差距,整体技术水平急待提高。本年度重点支持:
(1)新型高性能工业温度、湿度检测、汽车传感器用的陶瓷;各类气体探测用功能陶瓷;温度补偿器、热传感和自控加热元件等功能陶瓷;
(2)超声转换、微位移器、新型压电马达、滤波器用压电陶瓷材料;
(3) 无机非金属智能材料、能源转换材料及产品。